- ▲ G&G Intech首席技术总管理事郑镇旭(左)与代表李佳润。/The Vivid
制造半导体时,一个重要的要素就是“水”。但普通的水不能用。清洗半导体晶圆(圆片)上的杂质,需要超精密的纯净水,即“超纯水(Ultrapure Water)”。随着半导体技术的高度发展,对超纯水的要求也变得更加严格和苛刻。
- ▲ 由G&G Intech制作的沙特阿拉伯KAUST的水处理设施。2019年制作的试点设备(左)和2022年至2023年制作的半商业化阶段产品。/G&G Intech
中小型超纯水设备市场的强者
- ▲ 半导体晶圆/盖蒂图片社
半导体产业要求具备超纯水中的最高品质。必须满足电阻率18MΩ·cm(欧姆厘米)以上、总有机碳(TOC)1.0ppb以下、1小时内检出50nm以上的颗粒不超过200个/L等条件。如果我们的饮用水是“普通干净”的水,那么超纯水则接近于“过滤了原子单位的水”。它太过纯净,如果人饮用,可能会破坏体内的电解质平衡。
以前只有三星电子、SK海力士等大企业需要超纯水,但现在为它们供应药品或零部件的中小合作企业也需要超纯水。
G&G Intech是专门生产中小型超纯水设备(每小时最高生产10吨超纯水产品)的企业。李佳润代表表示:“根据客户的要求,我们提供定制化的研发、试台(bench)、试点(pilot). 设备构建及运营(O&M)等全套服务。我们拥有超纯水设备专用的工艺开发、施工及运营经验。”G&G Intech还可以负责设备运营,让中小型半导体企业能够以最低成本维持设备运行。
- ▲ G&G Intech为美国洛杉矶一家牛仔裤工厂安装的水资源再利用设备。/G&G Intech
目标是成为全球化水处理企业
- ▲ 参加台湾半导体展览会(SEMICON)的G&G Intech /公司提供
G&G Intech今年接连参加台湾半导体展览会(SEMICON)、美国水处理展览会(WEFTEC)等活动,加快了全球化的步伐。李佳润代表说:“为了提高半导体的质量,超纯水的升级和水再利用技术将更加受到关注。我们将不断提供引领市场的解决方案。”