三星电子和SK海力士就此表示,“我们的确正在就中国大陆、中国台湾和韩国生产的氟化氢进行测试,但并没有与某一家公司签订合同”“为改变目前过度依赖日本氟化氢的局面,我们正在努力寻找其他的供应商”。
半导体企业某高管表示,“因情况紧急,我们正在考察所有可替代的供货商,即便产品合格率下降,也要维持生产”。《日经新闻》本月16日报道称,“三星高层在日本经济产业省出台强化管制方针后,立刻造访中国大陆和台湾地区,正在寻找其他供货商”“韩国半导体企业很可能会不再需要日本原料企业的供货”。
氟化氢是在绘制半导体电路,去除不纯物质时必备的原材料。目前在半导体制作工艺中,需要使用99.999%以上的高纯度氟化氢。半导体企业相关人士表示“一直以来,三星电子、SK海力士使用的日本产氟化氢不仅纯度达到99.999%以上,而且不纯物质粒子的种类和大小均一致,因此产品合格率很高”“相反,中国大陆和台湾地区以及俄罗斯等其他国家和地区的氟化氢纯度较低,不纯物质的种类和大小各异,无法立刻投入生产”。
若不纯物质浓度过高或粒子大小不均,会给半导体的晶圆造成致命的损伤,半导体的合格率也会下降。即便因日本的出口管制制度,氟化氢的供给出现差池,韩国半导体企业也没有立刻将中国大陆和台湾地区以及俄罗斯生产的氟化氢投入生产的原因也在于此。
三星电子和SK海力士正在分析在现有的生产线上,使用纯度为99.99%的氟化氢,产品合格率会降至多少。正常情况下,氟化氢测试需要6个月以上时间,韩国企业计划将时间缩短至2-3个月。据悉,部分原材料企业向三星和海力士方面表示,在不久的将来会开发出比肩日本水准的产品。另外,韩国政府当天决定,就核心原材料、零部件的研究和开发提供大幅的税收支持。此举旨在促进氟化氢等半导体原材料的韩国国产化。