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日本批准了氟化氢向韩国出口。韩国产业通商资源部29日表示，日本经济产业省已批准日本企业出口到三星电子的一批氟氯化氢。这距离日本政府上月4日强化出口限制已过去了57天。

氟化氢是在半导体制造工艺中，用于按照微电路形状进行蚀刻以及去除杂质的清洁工序的必备材料。在全部500多个半导体工序中，有50多个工序需要用到它。在纯度为99.999%以上的氟化氢领域，日本森田、STELLA CHEMIFA等占据了世界市场的70%以上。据悉，日本当天批准的氟化氢是由日本STELLA CHEMIFA提交的。根据此次批准，继三星电子之后，SK海力士的氟化氢进口也将很快得到批准。

上个月初,日本强化了氟化氢、EUV（远紫外线）用光刻胶（感光液）、氟化聚酰亚胺等3种材料的对韩出口限制。但日本政府在本月中旬允许了出口EUV用光刻胶。据悉，由于三星、LG等企业不需要用于显示器制造方面的氟化聚酰亚胺，所以没有申请进口。半导体业界的一位相关人士表示：“日本限制出口3种材料导致生产出现问题的风险，通过此次批准得到了暂时解除。每次引进日本产材料时都要按批次获得许可，这本身就是提高经营不确定性的因素。”